Casa > Exposició > Contingut

Requeriments de precursors de cinema

Jun 20, 2018

Requeriments de precursors de cinema


Elevades concentracions (> diversos percentatges atòmics)
de l'hidrogen a la pel·lícula a-Si pot resultar en pobres
pel·lícules poli-Si cristal·litzades amb làser de qualitat
- L'hidrogen evoluciona de forma explosiva, provocant que la
Pel·lícula cristal·litzada per tenir bombolles / forats
PECVD a-Si: H s'ha de deshidrogenar abans
cristalina làser anneal
recuit tèrmic ( per exemple, 1 h a 450 ° C)
Anneal làser de baixa fluència
Si la uniformitat del gruix de la pel·lícula ha de ser millor que
± 5%, per a la mida de gra uniforme

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png