Casa > Exposició > Contingut

ODF-VAS

Nov 15, 2017

Sistema d'alineament al buit

L'objectiu és fer que TFT i CF caiguin al buit amb TFT i CF.

1.jpg


L'estructura bàsica és la següent

2.jpg

Sistema d'alineament al buit, consta dels tres sistemes següents

3.jpg

Vacuum Align System Hores de treball, principalment en el següent ordre

4.jpg

1.1 sistema de buit

El sistema de buit d'AS està compost principalment per bomba de buit sec (Dry Pump) i Turbo Molecular Pump;

DP sol portar només al buit a uns 10Pa;

TMP pot prendre el buit a aproximadament 1Pa;


El següent és un diagrama esquemàtic del tub d'aspiració d'una màquina VAS

5.jpg

1.2 adsorció de vidre

Sistema d'alineament al buit, en funció dels requisits de precisió de la caixa de vidre, el vidre no pot tenir cap deformació, sinó també per reduir la interferència de la caiguda, l'adsorció del vidre a la màquina per l'adsorció més antiga del buit, el desenvolupament fins a l'adsorció electrostàtica i, a continuació, adsorció de la força molecular!

6.jpg

A partir de l'adsorció electrostàtica i l'adsorció de la força molecular, fem la següent comparació

7.jpg

1.3 sistema de contrapunt

El sistema de posicionament, és simplement les coordenades de la marca de l'adquisició de la càmera, a través del sistema de processament d'imatges, el càlcul de la diferència de posició del substrat, i després el sistema de control ajusta la posició del substrat, per aconseguir una alineació precisa;

8.jpg

El procés d'alineació és el següent

1. agafeu les coordenades de marxa i baixada;

9.jpg

2.Calcular el theta com es mostra a la figura següent

10.jpg


2. llavors, el substrat inferior es mou, i un nou punt central Bm 'està calculat

3. Finalment, Bm'moves a la posició Um;